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第八届“四维数创杯”中国围棋龙星战规程

编辑: admin 来源: 未知 时间: 2018-06-13 01:00:41
内容摘要:  第八届“四维数创杯”中国围棋龙星战规程, 尤其是器件制造工艺及集成技术给团队带来巨大挑战:一是界面工程,需要研究高K材料与硅沟道的界面态特性、应力引入控制机制、影响载流子迁移率的原理机制等;二是栅工

第八届“四维数创杯”中国围棋龙星战规程,  尤其是器件制造工艺及集成技术给团队带来巨大挑战:一是界面工程,需要研究高K材料与硅沟道的界面态特性、应力引入控制机制、影响载流子迁移率的原理机制等;二是栅工程,对高性能的NMOS和PMOS器件而言,筛选出具有合适功函数的金属栅材料及堆叠结构避免费米钉扎效应,降低刻蚀工艺及集成技术的难度至关重要;三是需要实现超浅结的源漏工程,确保器件具有良好的短沟道效应抑制特性和欧姆接触。

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